各種エレクトロニクス領域
における洗浄技術

半導体洗浄そのものだけではなく、半導体洗浄装置における卓越した技術を応用した、
液晶・精密機器のクリーニングソリューションを世界に提供しています。

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  半導体洗浄

  半導体製造技術の高品質・高集積・大容量化が進む中では、製造装置にもさらなる高処理能力が求められるため、半導体の欠陥の原因になるウィルスより小さいナノサイズの塵（パーティクル）を超のつく高レベルで洗浄する技術と装置で対応しています。

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  FPD洗浄

  液晶（LCD、PDP、OLED）の致命的欠陥となってしまう表面汚染などに対して、高精度で洗浄し高速スループットにも対応できる精密エアナイフ乾燥を備えた機器などを各種揃えて対応しています。また各種カセット洗浄装置の製作もしています。

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  精密部品洗浄

  ハードディスク関連、ヘッドスライダなどのナノレベルでの洗浄やHDD拒体等の洗浄装置を開発しています。製品機能の高密度化に伴って、これらの精密機器から、コンタミやパーティクル、スラリーなどの精密研磨粉の除去を可能にしています。