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半導体洗浄

• 300ｍｍウェハカセットレス
  洗浄装置
• ウェハカセット洗浄装置
• 有機溶剤洗浄装置
• Siナゲット洗浄装置
• GaAsエッチング装置
• ユタカドライ乾燥装置

ＦＰＤ洗浄

• FPDカラーフィルタ製造ライン
• OLED用処理装置
• PDP向けカセット洗浄装置
• マスクガラス洗浄装置
• 非接触搬送洗浄装置
• 空中搬送洗浄装置

精密部品洗浄

• 精密部品洗浄装置
• 磁気ヘッド洗浄装置

その他

• 自動搬送カセットクリーン
  オーブン
• ウェハ移載装置
• 真空乾燥装置
• IR乾燥炉
• フリット乾燥炉
• 薬液供給装置
• インキュベーター
• ミスト除菌装置