液晶(LCD)、プラズマディスプレイパネル(PDP)、有機ELディスプレイ(OLED)

LED,OLED等の洗浄装置、現像装置、エッチング装置、剥離装置の設計、
製造を行っています。

カラーフィルターライン

■純水洗浄装置・現像装置
液晶カラーフィルターラインの各種洗浄装置・現像装置です。優れた操作性、メンテナンス性など業界をリードするパフォーマンスを備えております。

カラーフィルターライン

ケース・カセット洗浄装置

近代、ガラス基板の大型化や多品種化にともない、カセットからの発塵が問題になっております。歩留向上に寄与する各種カセット洗浄装置を製作しております。

ケース・カセット洗浄装置

有機EL(OLED)ライン

■純水洗浄装置
有機物やパーティクルなどの汚れを高精度で洗浄し高速スループットにも対応できる精密エアナイフ乾燥を備えております。

有機EL(OLED)ライン

有機EL(OLED)ライン

■現像・ITO/CRエッチング装置
高精度なシール性、メンテナンス性及び操作性によりランニングコストを低減、省スペース設計、高生産性を実現しています。

有機EL(OLED)ライン