空気清浄

クリーンユニット(FFU)・クリーンオーブン・クリーンベンチ・クリーンブース及びエアーシャワーなどの開発はもとより、環境や省エネを考慮したトータルシステムとしての製品づくりをしております。

空気清浄装置

カラーフィルターライン

クリーンユニット

本クリーンユニットを使用して、清浄空間を簡便に構築できます。5/min~55/minまでラインナップが豊富です。

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カタログ(252kb)

エアシャワー

クリーンルームなどの清浄空間と一般室をエアロックにより分離します。自動扉式・手動扉式など、各種あります。

クリーンオーブン

清浄雰囲気中で熱処理をする為のもので、~350℃まで各種あります。

温湿度管理ユニット

最近では高度精密度化が進み、ガラス基板等の転写などのバラツキが多くなっており、湿温度をコントロールすることで問題を解消いたします。

クリーンブース

クリーンルーム環境下における装置ユニットのクリーン度を向上させるためにSUS製、アルミ製ブースを準備しております。

温度、湿度管理装置

工程の一部のみを温度、湿度もしくは両方の管理を行う装置を提供します。

連続乾燥炉

自動搬送式連続乾燥炉も多数の納入実績があります。

クリーンロッカー、パスボックス

クリーンロッカーやパスボックスも多数の納入実績があります。