空气清净

以滤清器(FFU)·无尘烤箱·无尘操作台·无尘小房间以及风淋室等的开发为根本,将制造考虑到环境和节能的产品作为总体制。

空气清净设备

Air Purification

滤清器

可以简便的构筑清净空间。从5㎥/min到55㎥/min,产品丰富。

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样本

 

风淋室

将无尘室等的清净空间和一般室内用气锁隔离。有自动门式,手动门式各种。

无尘烤箱

为了在清净空气中进行热处理的机器。有到~350度的各种。

温湿度管理器

最近,随着高度精确化的进步,玻璃基板的转抄等的偏差增多,所以使用温湿度管理器解决此问题。

クリーンブース

クリーンルーム環境下における装置ユニットのクリーン度を向上させるためにSUS製、アルミ製ブースを準備しております。

温度、湿度管理装置

工程の一部のみを温度、湿度もしくは両方の管理を行う装置を提供します。

連続乾燥炉

自動搬送式連続乾燥炉も多数の納入実績があります。

クリーンロッカー、パスボックス

クリーンロッカーやパスボックスも多数の納入実績があります。