滤清器
可以简便的构筑清净空间。从5㎥/min到55㎥/min,产品丰富。

- 样本
风淋室
将无尘室等的清净空间和一般室内用气锁隔离。有自动门式,手动门式各种。
无尘烤箱
为了在清净空气中进行热处理的机器。有到~350度的各种。
温湿度管理器
最近,随着高度精确化的进步,玻璃基板的转抄等的偏差增多,所以使用温湿度管理器解决此问题。
クリーンブース
クリーンルーム環境下における装置ユニットのクリーン度を向上させるためにSUS製、アルミ製ブースを準備しております。
温度、湿度管理装置
工程の一部のみを温度、湿度もしくは両方の管理を行う装置を提供します。
連続乾燥炉
自動搬送式連続乾燥炉も多数の納入実績があります。
クリーンロッカー、パスボックス
クリーンロッカーやパスボックスも多数の納入実績があります。