滤清器

可以简便的构筑清净空间。从5㎥/min到55㎥/min，产品丰富。

样本

风淋室

将无尘室等的清净空间和一般室内用气锁隔离。有自动门式，手动门式各种。

无尘烤箱

为了在清净空气中进行热处理的机器。有到~350度的各种。

温湿度管理器

最近，随着高度精确化的进步，玻璃基板的转抄等的偏差增多，所以使用温湿度管理器解决此问题。

クリーンブース

クリーンルーム環境下における装置ユニットのクリーン度を向上させるためにＳＵＳ製、アルミ製ブースを準備しております。

温度、湿度管理装置

工程の一部のみを温度、湿度もしくは両方の管理を行う装置を提供します。

連続乾燥炉

自動搬送式連続乾燥炉も多数の納入実績があります。

クリーンロッカー、パスボックス

クリーンロッカーやパスボックスも多数の納入実績があります。