在半导体制造技术以高品质·高集积·大容量化前进的过程中，半导体制造设备也需要提高处理能力。

硅片清洗设备

对应4，6，8寸以及顾客们的需求。

无篮子硅片清洗设备

供应8，12寸全自动清洗设备。

精密零件清洗设备

供应根据顾客需求的工程和产品。

药液供给设备

对应清洗·显影等各种药液。